等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。

小型二合一鍍膜儀適用范圍：

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。

小型二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

小型二合一鍍膜儀
樣品臺(tái)	尺寸	φ80mm	至蒸發(fā)源間距	20mm~50mm可調(diào)
直流濺射頭	數(shù)量	2”×1
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源	鎢絲籃	*高溫度	1700℃
	熱電偶	S型熱電偶
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm×150mm	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	高純石英	開啟方式	頂蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵	旋片泵	抽氣接口	KF16
	真空測(cè)量	電阻規(guī)	排氣接口	KF16
	極限真空	1.0E-1Pa	供電電源	AC;220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
濺射電源配置	數(shù)量	直流電源×1	*大輸出功率	150w
其他	供電電壓	AC220V,50Hz	整機(jī)尺寸	360mm×300mm×470mm
	整機(jī)功率	1.5kw	整機(jī)重量	20kg

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