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產(chǎn)品名稱(chēng)：桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）
產(chǎn)品型號(hào)：CY-MSZ180-I-DC-Q
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別，大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)高性能直流電源，具有煉靶功能，有效去除鋁靶表面的氧化層，十分適合鍍鋁等對(duì)空氣十分敏感的材料。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類(lèi)鍍膜試驗(yàn)。

詳情介紹：

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱(chēng)

桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ180-I-DC-Q

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

≦500℃

可調(diào)轉(zhuǎn)速

≦20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì)，量程:10^-5~10⁵Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10^-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s，前級(jí)泵抽速1.1L/s

電源配置

電源數(shù)量

直流電源一套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm

相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）
產(chǎn)品型號(hào)	CY-MSZ180-I-DC-Q
樣品臺(tái)	外形尺寸	φ100mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X215mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	高純石英
	開(kāi)啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統(tǒng)真空	1.0×10^-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級(jí)泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源一套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)功率	2kW
	整機(jī)尺寸	550mm X 350mm X400mm

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產(chǎn)品名稱(chēng)：桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）