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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統(tǒng),涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機(jī)柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環(huán)冷水機(jī)組和薄膜厚度監(jiān)控器等。
詳情介紹:

非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品用途

非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優(yōu)良且具有成本效益的涂膜機(jī),用于研發(fā)非導(dǎo)電材料薄膜。

非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH300-III-DCDCRF-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機(jī)功率

6KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ185mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度500mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W*2,射頻電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

設(shè)備尺寸

600mm × 650mm × 1280mm

設(shè)備重量

350kg

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