本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度*高可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。

技術(shù)參數(shù)：

多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
型號(hào)	CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS
樣品臺(tái)	尺寸	*大支持φ150mm樣品
	高度	上下70mm可調(diào)
蒸發(fā)源	數(shù)量	鎢舟x2
真空腔體	腔體尺寸	φ325x600mm
	觀察窗口	前置φ100mm
	腔體材料	304不銹鋼
	開(kāi)啟方式	前開(kāi)門(mén)式
膜厚控制	晶振式膜厚測(cè)量?jī)x，可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵
	抽氣接口	KF16
	次級(jí)泵	渦輪分子泵
	抽氣接口	CF160
	真空測(cè)量	電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)
	排氣速率	機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
控制系統(tǒng)	PLC自動(dòng)控制  操作界面：觸控屏+操作面板
其他	供電電壓	AC380V,50Hz
	整機(jī)尺寸	1000mm X900mm X 1500mm
	整機(jī)重量	350kg
	整機(jī)功率	5kW