高真空鍍膜儀操作流程：

1.開啟循環(huán)水，并檢查循環(huán)情況和是否漏水。

2.開啟電源總閥。

3.打開真空室的手動放氣閥放氣，放氣結束后關閉手動放氣閥。接著打開真空室蓋。

4.放置蒸鍍金屬和樣品，關閉真空室蓋。

5.開啟真空計，開啟機械泵，然后打開前級閥。

6.待真空度小于10Pa后開啟分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后開始蒸鍍（蒸鍍期間不要關閉機械泵、前級閥和分子泵）。

（6）當膜厚達到要求值后先關擋板后，再將電流調節(jié)閥歸零，并蓋住樣品托。

（7）關閉設備總電源和墻上總電源以及循環(huán)水系統(tǒng)。

若出現(xiàn)異常，請先關閉分子泵?。?！緊急情況，請關閉總電源?。。?！