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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC-100ML
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝
詳情介紹:

全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實(shí)現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個(gè)過程自動(dòng)完成;可同時(shí)交替涂覆兩種薄膜,兩種液體各交替*多500次,實(shí)現(xiàn)千層薄膜的涂覆。本機(jī)可用于酸、堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配不同尺寸的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤,利用真空吸附的方式固定基片。該機(jī)主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

主要特點(diǎn):

1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

4、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

5、采用無油真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

6、腔體采用聚四氟乙烯材質(zhì),使用壽命更長,耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鈑金結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

7、加熱后可通氣體進(jìn)行快速冷卻。

8、中文操作界面(全英文操作系統(tǒng)可選)

9、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。

10、控制界面采用觸摸屏控制,操作簡單方便,顯示直觀。

11、全自動(dòng)的涂膜過程:自動(dòng)滴膠、自動(dòng)通氣、自動(dòng)旋涂、自動(dòng)烘干。

12、可兩種液體交替涂膜,*多可涂1000層薄膜。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

CY-SPC-100ML全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)

產(chǎn)品型號

CY-SPC-100ML

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:壓縮氣體貨自行規(guī)定的保護(hù)氣體

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×900mm,承重50kgs以上

主要參數(shù)

、電源:主機(jī)24V   蠕動(dòng)泵24V   加熱:220V  50HZ      

2、功率:總功率1200W     加熱:1350W

3、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:500-10000rpm(*小增量為1rpm)

4、運(yùn)行程序:該機(jī)每次涂膜可分AB兩組運(yùn)行程序完成,每組程序分為六段運(yùn)行,每組程序可循環(huán)500次,兩組程序*多可涂1000層薄膜。

5、增減速率設(shè)置范圍:10rpm/s-2000rpm/s(增量為10的整數(shù)倍)

6、加熱功能:

加熱范圍:RT-200℃(腔體采用耐熱耐腐蝕的聚四氟材質(zhì))(碳纖維加熱管)

7、聚四氟真空吸盤和鋁制吸盤,規(guī)格:1英寸,2英寸,4英寸。

產(chǎn)品規(guī)格

8、產(chǎn)品規(guī)格:

·尺寸:旋涂機(jī)450x400x580mm;蠕動(dòng)泵270x310x280mm;

·重量:50kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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