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8寸勻膠機(jī)經(jīng)過小型化設(shè)計(jì),整體采用鋁合金結(jié)構(gòu),鋁合金陽極氧化處理腔體,外觀美觀堅(jiān)固。儀器采用先進(jìn)的精密電機(jī),zui高轉(zhuǎn)速能達(dá)到8000轉(zhuǎn)/秒;控制依靠按鍵和高亮液晶屏,除直接勻膠外還能預(yù)存勻膠曲線進(jìn)行程控勻膠。本儀器在極大的減小了體積的前提下有效的保障了儀器性能和功能,十分適合實(shí)驗(yàn)室選購.
8寸勻膠機(jī)用途:
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域
8寸勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
供電電源 |
AC220V, 50Hz |
樣品尺寸 |
zui大直徑 8" (~200mm) |
腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
上蓋(特殊要求) |
數(shù)量:2個(gè)(其中1個(gè)備用,只是蓋子,不含其它)石英材質(zhì), 便于觀察旋涂狀態(tài) |
轉(zhuǎn)速 |
0~8000rpm 可調(diào) |
加速度 |
100~5000rpm/s |
速度分辨率 |
1rpm |
操作模式 |
觸屏控制 |
注射泵裝置 |
6通道獨(dú)立控制注射泵,但注射泵的控制軟件和勻膠機(jī)兼容 適用注射器規(guī)格:1ml - 60ml zui大行程:90mm 線速度范圍:7.94um/min-79.4mm/min 行程控制精度:誤差≤±0.5%(行程≥zui大行程的30%) 額定線性推力:>90N |
滴液裝置(特殊要求) |
l 自動和可編程滴液 l 六個(gè)獨(dú)立注射器和滴液孔,無交叉污染 l 注射器的容量: 5ml到更高 l 其中2 條分配線需要jingque控制:可重復(fù)的分配量,每次zui小分配量:50ul±5ul,這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的jingque控制要求稍低,zui小分配量:500ul±50ul,用于辛烷或乙腈溶液 l 管子和注射器需要對溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強(qiáng)的耐受性 l 管子和注射器之間的所有連接都要連接良好,不能泄漏 |
控制軟件(特殊要求) |
程序和存儲配方由步驟組成。 每個(gè)步驟至少具有以下可配置參數(shù):時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。 配方允許循環(huán)步驟的子集.. 控制軟件配方的典型示例: 步驟1:注液泵 1 分配 50ul 溶劑 步驟2:立刻,旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 旋轉(zhuǎn) 30 秒并停止 步驟3:注液泵 2 分配 200ul 溶劑 步驟4:30 秒后,旋涂機(jī)開始以 3000 rpm 的速度旋轉(zhuǎn) 步驟5:10 秒后,注液泵 3 分配 1ml 溶劑 步驟6:40秒后,旋涂機(jī)停止 步驟7:重復(fù)10 次 步驟 1 至 6 |
吸盤 |
4片 (鋁合金,直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm) |
真空泵 |
無油泵 |
泵抽速 |
50 L/min |
勻膠機(jī)尺寸 |
~290mm*365mm*300mm |
勻膠機(jī)凈重 |
~20kg |